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BSGS大宗供气体系

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BSGS大宗供气体系作为半导体斲丧进程中必不可少的体系,高纯久发国际体系直接影响全厂斲丧的运转和产品的质量。相相比而言,集成电路芯片制造厂由于工艺技术难度更高、斲丧进程更为庞大,因此所需的久发国际种类更多、风致要求更高、用量更大,也就更具代表性。,此体系是在气柜底子上开拓的,可以延续举行超大流量不中缀提供的特气提供体系.

大宗久发国际体系BSGS

紧张适用于:Semiconductor、TFT、Sun Solar等工厂特气的聚集供气

本文重点以集成电路芯片制造厂为背景来叙说。  

一、供气体系的设计 

 1、久发国际站 

 2、起首必需依据工厂所需用宇量的环境,选择最公允和经济的供气要领。  氮气的用量重复是很大的,依据其用量的差异,可思量采取以下几种要领供气: 

 1)、液氮储罐,用槽车活期举行充灌,高压的液态久发国际经蒸发器(Vaporizer)蒸发为气态后,供工厂运用。一样伟大的半导体工厂用宇量适中时这种要领较为契合,这也是如今采取最多的一种要领。 

 2)、采取空分装置现场制氮。这适用于N2用量很大的场所。集成电路芯片制造厂多采取此要领供气,并且还同时设置液氮储罐作备用,氧气和氩气重复采取超高温液氧储罐配以蒸发器的要领提供, 氢气则以气态要领提供,一样伟大采取钢瓶组(Bundle)即可餍足斲丧要求。

如用宇量较大,则可采取Tube Trailer供气,只是由于蹊径消防寂静审批等要素,如今在外洋还很少采取此要领。信托随着我国微电子财富的飞速生长,相关的寂静端正会更美满,Tube Trailer供气要了解被更多地采取。要是氢气用量相称大,则需要现场制氢,如采打水电解装置.

由于高温液氦储罐的本钱相称昂贵,加以氦气用量不大,氦气一样伟大采取钢瓶组(Bundle)的情势提供即可餍足斲丧要求。随着大型集成电路厂越来越多地出现,氦气的用量也冉冉上升,外洋已末端实行运用液氦储罐,并且由于氦气在低于-4500F时才是液体,此时全部杂质在此液相中实际均已固结在固体,实践上从该储罐气化的氮气已是高纯度,不消再经纯化处置处分。  

随着外洋半导体集成电路财富的飞速生长,将会出现一些半导体工厂较为麋集的微电子斲丧园区,这时有约莫采取聚集的管道供气要领,即由久发国际公司在园区内建一大型气站,将大宗久发国际用地下管线送往各工厂。这种要领可以大大飞扬各厂的用地需求和用气资源,构成久发国际公司与半导体工厂多赢的场所场所局面。

 二、大宗久发国际运送管道体系的设计  

经纯化后的大宗久发国际由久发国际纯化间送至帮助斲丧层(SubFAB)或斲丧车间(FAB)的排挤地板下,在这里构成配管网络,再由二次配管体系(Hook-up)送至各用户点。以我司的设计阅历,在设计中要侧重思量以下几个方面。 

(1)配管体系的机动性设计:微电子行业的生长十分机动,通常会发生工艺配置更新、挪位和新增等外形。纵然在整个工厂的配置中,终极的工艺配置散布也会与设计时相去甚远。这种行业的格外性要求设计必需富裕思量其机动性(Flexibility),能餍足未来的扩展需求。  

(2)配管体系的基本设计准绳是在主管(Main)上按一定间距设置支管端(Branch),再在每个支管上按一定间距设置分支管(Branch Take-off)供二次配管运用。别的,主管的管径不消随流量的递减而采取渐缩设计。  无庸讳言,这种配管体系确实具有富裕的机动性,但由于超高纯久发国际管路的管件和阀件价钱昂贵,该体系的资源之高也是显而易见的。通常,集成电路芯片厂的配置重复会分红多少个阶段,一方面可以缓解一次性投资的庞大资金压力,另一方面也可以依据市场外形作出相应的调料理策。在新厂配置的第一阶段,设计产量重复不是很高,用气点也不是很多,尤其是氢、氩、氧、氦的用气点就更少。因此必需思量怎样来简化该配管体系以飞扬资源。 

 三、别的设计要点  

在设计中还应依照外洋其他相关模范,如《洁净厂房设计模范》、《氢氧站设计模范》、《供氢站设计模范》等,此中紧张的设计要点有: 

(1)在主管着末要设计久发国际取样口,敷衍氢气和氧气,还需在主管着末设置放散管。放散管引至室外,应跨越跨过屋脊1米,并应有防雨、放杂物侵入的步伐; 

(2)氢气、氧气管道间距标题;  

(3)氧气管道及其阀门、附件应经严厉脱脂处置处分,并应设导除静电的接地要领;  

(4)氢气管道接至用气配置的支管和放散管,应设阻武器;引至室外的放散管,应设置防雷掩护要领;应设导除静电的接地要领。  

四、结论  

大宗久发国际体系的设计是整个半导体工厂设计中的一个告急局部,固然整集团系的流程并不庞大,但是此中任一关键的疏忽都约莫会招致告急的结果。在设计中,必需在供气坚定、延续不中缀的条件下,严厉包管久发国际的风致,从而包管整个工厂斲丧的顺利举行。别的在资源方面也应有所思量,力图抵达寂静性与经济性的平衡。