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久发国际管道体系中久发国际与管道的干系

文章源头:本站人气:92颁发时间:2019-09-21 10:11:08

久发国际管道体系中久发国际与管道的干系:

比年来以大范围集成电路为代表的微电子产品斲丧对高纯久发国际的纯度和杂质含量的日益严厉的要求,使高纯久发国际的配管技术日益遭到存眷和重视。以下针对高纯久发国际运送从选材到施工以及验收、一样伟大料理作个约莫的概述。

久发国际管道体系
有数久发国际的种类

电子行业中有数久发国际的分类:

庞大久发国际,也称大宗久发国际 (Bulk gas ):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等

特种久发国际(Specialty gas )紧张有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6„„等等

格外久发国际的种类一样伟大可分为蜕化性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一样寻通常用的半导体久发国际分类如下:

(一)、蜕化性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 „等

(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO„等

(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3„等

(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He„等

半导体久发国际很多是对人体有害。格外是此中有些久发国际如SiH4的自燃性,只需一泄漏就会与气氛中的氧气起猛烈应声,末端熄灭;另有AsH3的剧毒性,任何些微的泄漏都约莫构成职员生命的危害,也便是由于这些显而易见的毁伤,以是敷衍体系设计安全性的要求就格外高。

高纯气配管技术是高纯久发国际管道体系的告急构成局部,是可否将合符要求的高纯久发国际送至用气点仍对峙质量合格的关键技术;所谓高纯气配管技术包括体系的准确设计、管件及附件的选择、施工陈设和实行测试等外容。
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