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PECVD特气供气体系

PECVD特气供气体系

1、PECVD特气供气体系概述

PECVD特气供气体系由特气柜(Gas Cabinet),气瓶柜(BSGS),气瓶架(Rack),阀门箱(VMB),VMP、管道预制、二次配管等构成。 紧张运用于:半导体,太阳能光伏,微电子,镀膜等需要高纯久发国际的行业。

2、PECVD特气供气体系过细说明:
PECVD特气供气体系
特气柜(Gas Cabinet),气瓶柜(BSGS),气瓶架(Rack),阀门箱(VMB),VMP。
紧张运用于:半导体,太阳能光伏,微电子,镀膜等需要高纯久发国际的行业。
配置有全自动型,半自动型,手动型;
紧张久发国际有:硅烷、氨气、笑气、氯气、三氯化硼、磷烷、锗烷等易燃易爆、蜕化性毒性久发国际,
惯例性久发国际:氮气、氩气、氦气、氧气中分流盘、汇流排、半自动切换,
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