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SCRUBBER特气尾气处置处分体系

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斲丧配置特气废气处置处分:可燃性、毒性久发国际有害化的处置处分配置。分为熄灭式、加热剖析式、湿式、触媒式等离子、剖析式、吸着式等,久发国际提供最佳的废气处置处分体系。

尾气处置处分体系Scrubber


一.紧张特点

1. 独立熄灭要领,完全熄灭之火焰涡流:可燃性毒性久发国际从低浓度至100%浓度均可用高温处置处分;

2. SiH4与NF3、NO2同时熄灭:SiH4与NF3、NO2可以同时于熄灭室中一同 熄灭;

3. 基本结果之寂静设计:十分环境发生时,诊断遵从会自动寂静处置处分;

久发国际 4. 运用刮刀要领,粉尘处置处分容易:熄灭室外部之附着粉尘,可运用独立之刮刀容易且确实地扫除;

5. H2、LPG、自然瓦斯(LPG)种种型式:燃料久发国际可运用H2、LPG、自然瓦斯(LPG)3 种型式;

6. 颐养约莫:颐养可在极短的时间内完成,用度也昂贵;

7. 高信托性:布局约莫且零件数少,值得高度信托。

久发国际 二.处置处分久发国际种类

可处置处分久发国际种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相聚集制程中运用的特气,紧张包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

三.处置处分原理

1. 冷却气氛之一部份在熄灭室内构成火焰涡流,制程久发国际会完全卷入熄灭;

久发国际 2. Guardian之火焰涡流可将SiH4等久发国际,粉碎其气泡孕育发生;

3. 冷却气氛在机台外部循环,熄灭室外部运用气氛冷却。并可使排气温度冷却下降,并且可将熄灭后之氧化物排挤等多样结果;

4. 热电对之寂静装置,可监视熄灭室温度、排气温度、Process Gas导入管温度。别的Photo sensor可监视熄火,差压计可检视排气风量。



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