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TFT-LCD行业

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在TFT-LCD制造工艺CVD聚集工序中运用到的工艺特气:硅烷(S1H4),氨气(NH3),磷烷(PH3),笑气(N2O),NF3等,别的参与工艺进程的另有高纯度氢气和高纯度氮气等大宗久发国际。溅射工序中要用到氩气,溅射成膜久发国际是溅射的紧张质料。起紧张求成膜久发国际不克不及喝靶材发生化学应声,最契合的久发国际是惰性久发国际。蚀刻工序中也会用到大批的特气,而电子特气多是易燃易爆、剧毒的久发国际,因此对气路的要求很高,技术也要求很高。久发国际科技专业从事超高纯特气运送体系的设计与陈设。


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